MEMS壓力感器按精度等級可以分為低、中、高三類(lèi),其中高精度的MEMS壓力傳感器主要應用於軍用級和(hé)宇航級產品,精度要求高(gāo),具有溫度範圍(wéi)寬、可抗衝擊等性能,MEMS壓力(lì)傳(chuán)感器正在向更高集成度和更高精度的方向(xiàng)發展,且隨著MEMS壓(yā)力傳感器技術的不斷(duàn)發展與進步,對壓力傳感器標(biāo)定(dìng)係統(tǒng)的精度要求也越來越(yuè)高。
MEMS壓力傳感器在投入使用前,一般需對其進行測試與(yǔ)標定。通過測試標定可以獲得MEMS壓力傳感器的(de)誤差參數,從而對其進行補償校準,以提高應用精度。目前MEMS壓力傳感器的測試標定主(zhǔ)要以人工為主,此種方法耗時長、效率低且易出錯。即便有自動測試基本上僅針對單個的傳感器,無法實現批量化自動測試。當對批量化生產的MEMS壓力傳(chuán)感器進(jìn)行測試標定時(shí)需要投(tóu)入大量(liàng)的人力物力,阻礙了MEMS壓力傳感器的應用(yòng)及產業化發展。
為了解決MEMS壓力傳感器自動批量測(cè)試標定的難(nán)題,恒升偉業經過大量MEMS工(gōng)況的調(diào)研,並結(jié)合了大部分用戶的檢定需求,依據(jù)現有的壓力傳感器檢定(dìng)規程,研發製造了一套全自動MEMS壓力(lì)傳感器標(biāo)定係統,有效提高了MEMS壓力傳感器測試標(biāo)定的自動化程度和(hé)效率,對推動我國MEMS壓力傳感(gǎn)器的研發和產業(yè)化有著(zhe)重(chóng)要的意義。
- 2023-09-20
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