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常見問答

MEMS壓力(lì)傳感器全自動批量標定的實現
發布時(shí)間(jiān):2022-06-01 12:00瀏(liú)覽次數:

近年來,隨著MEMS壓力(lì)傳感器芯片的快速發(fā)展,對其自動化、批量化的測試與標定的(de)需(xū)求越(yuè)來越大(dà),然(rán)而很多產品在投入市場之前沒(méi)有經過壓力傳感器標定(dìng)係統篩選出合格(gé)的產品或者發現產品中存在(zài)的(de)問題,隻能在(zài)產品使用過程中出現的(de)問題(tí)來(lái)檢測(cè)其可靠性,增加了(le)器件的使用成本(běn),影響了MEMS壓力傳感器的規模化(huà)應用。

壓力傳感器標定係(xì)統

為解決這個(gè)難題,北京恒升偉業針對(duì)MEMS壓力傳感器自動批量測試(shì)標定開(kāi)展了一係列研究工作(zuò),設計出了一套MEMS壓力傳感器全自動批量標(biāo)定係(xì)統,以提高MEMS壓力傳感器測試標定(dìng)的自動(dòng)化程度和效率,對推動MEMS壓力傳感器的研發和產業化有重要意義。

HSIN6800壓力傳(chuán)感器標定(dìng)係(xì)統包括氣源裝置,Mensor壓力控製(zhì)器,標定實施裝置和數據處(chù)理裝置。標定實施裝置與(yǔ)壓(yā)力控(kòng)製器(qì)連(lián)通,用於通過不同壓力的(de)氣(qì)體對待標定MEMS壓力傳感(gǎn)器施加壓(yā)力,並(bìng)輸出多個壓力真實值,壓力控製裝置先接收多個(gè)外部預設壓(yā)力(lì)值指令,預先設定多個不同的壓力值。Mensor壓力控製器(qì)再根據設(shè)定自動連續輸出(chū)不同壓力(lì)的氣體,避(bì)免人工控製,減小了操作誤差。數據處理裝置同時采集(jí)預設壓力值,壓力真實值和電信號值,減小了數據采集的時間差,保證了數據采集的同步(bù)性。


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