普通壓力(lì)傳(chuán)感器通常是指(zhǐ)傳統的機械量壓力傳感器,它主(zhǔ)要基於(yú)金屬彈(dàn)性體受力(lì)變形,由機械量彈性變形(xíng)到電量轉換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那(nà)樣(yàng)微小,並且成本也遠遠高於MEMS壓力傳(chuán)感器。而相對於傳統的機械式壓力傳感器,MEMS壓力傳感器的尺寸更小,使造(zào)價相(xiàng)對於傳統“機械"製造技(jì)術(shù)大幅度提高。兩種壓力(lì)傳感器在投入生產使(shǐ)用前都需要經過壓(yā)力傳感器標定係統標定合格(gé)。
MEMS壓力傳(chuán)感器是一種(zhǒng)薄膜元件,受到壓力(lì)時會產生變形,常常通過壓阻(zǔ)或者電容的形式將形(xíng)變轉化為電信號,再經過過(guò)轉換元件和轉(zhuǎn)換電路,輸出與壓力成線性關係的電流或者電壓信號。
MEMS壓力傳感器主要有壓阻式和(hé)電容(róng)式兩種,在工藝和性能上(shàng),壓阻式工藝複雜,溫度(dù)特性較差,電容式除了具有低溫(wēn)度係數,零靜態功耗等優勢,還具有靈敏度高(gāo)、線性度好、後續處理電路易於設計等優點。
MEMS技術正在成為芯片(piàn)公司的新貴,從移(yí)動通信和(hé)計算機,到(dào)消費電子、保(bǎo)健產品和工業控製,MEMS 應用正在迅速擴張成為增長熱點。壓力傳感器實際運用前為了保證使用精度(dù)需對傳感器進行(háng)校驗標定,因此,MEMS壓力傳感(gǎn)器(qì)的大批量標定的也成為了(le)一個迫切需要解決的問題。
恒升偉業HSIN6800全自動壓力芯片校驗工裝由基準壓力校驗控製模塊,待測壓力傳感器(qì)數字采集模塊和(hé)PC自動化處理模(mó)塊組成,具有模塊化設計、自動化程(chéng)度高、標定結果(guǒ)***度高(gāo)等優點,係統根據客戶需求可一次篩選1-48支(可擴展至350支)及以上的壓力傳感器,可廣泛運用與MEMS壓力傳感器芯片的全自動大批量標定。
- 2023-09-20
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