傳統的壓力傳感器是在當金(jīn)屬彈性體受到外力的(de)作用而導致變形的時候,經過機械(xiè)量的彈性的(de)變形,然後待電量轉換之後再輸出,MEMS壓力傳感(gǎn)器則是具有電源、接口電路、執行器(qì)、微型(xíng)傳感器(qì)和信號處(chù)理的微型的機電係統,成本低、精度高、尺寸小,性價比很高。
隨著MEMS傳感(gǎn)器的快速發展(zhǎn),對自動化、批量化的測試與(yǔ)標定的需求越來越大,與之相關的,對自動化批量測試標定設備的需求也隨(suí)之增加。通過測試標定可以獲得MEMS壓力傳(chuán)感器(qì)的誤差參數(shù),從而對其進行補償校準,以提高應用精度。
人工(gōng)標定MEMS壓力傳感器耗時長、效率低且易出錯。HSIN6800全自動壓力校(xiào)驗台使MEMS壓力傳感(gǎn)器的標定工作實現了完全的自(zì)動化(huà)。HSIN6800壓力傳感器標定係統內設有(yǒu)為待檢MEMS壓力傳感(gǎn)器提供的密封空間,可有效避免外界因素的幹擾,準確性高,為壓力傳感器提(tí)供恒定的壓(yā)力,保證壓力傳感器感應到的信號為壓(yā)力信號,改變了傳統萬用表(biǎo)的電壓檢測,準(zhǔn)確性良性好,可實現自動化檢測,並(bìng)自動(dòng)記錄(lù)和處理數據,一次可以同時標定同壓力範圍的多個MEMS壓力傳(chuán)感器。
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