在半導體製造過程中(zhōng),溫度是十分重要的工(gōng)藝參(cān)數。例(lì)如熱電偶就常用於測量和(hé)控製退火、氧化、刻(kè)蝕等各種工藝設備的(de)溫度,確保工藝的安全性,對提高半導體質量和性能有著重要的作(zuò)用。由此可見,用於檢定熱電偶準確度的幹(gàn)體爐、溫度校驗(yàn)儀等(děng)計量設備在半導體行業也有著廣泛的應用。
在計(jì)量校準方麵,幹體爐主要用於熱電偶、熱電(diàn)阻、溫度傳感器、溫度變送器等溫(wēn)度儀表的溫(wēn)度(dù)測試。HSIN930係列智能幹體爐可提供穩定而準確的溫(wēn)度環境,模擬各種環境條件,以便在實(shí)驗室中測試半(bàn)導體的性能,還(hái)可以用於熱處理(lǐ)和退火等其他半(bàn)導體(tǐ)製造(zào)步驟。
HSIN930智能幹體爐還可測量(liàng)直流電壓、毫伏電壓、直流電流、電阻、開關通斷等信號。還可測量8種熱電偶和5種熱電阻,提供冷端補(bǔ)償功能,熱電阻測量有多種線製選擇,滿足了半導(dǎo)體行業校準溫度儀(yí)表對準確度、便攜性和速度的(de)要求。
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