近年來，隨著MEMS壓力傳感器芯片（piàn）的快速發展，對其（qí）自動化、批量化的測試與標定的需（xū）求（qiú）越來越（yuè）大，然（rán）而很多產品在投入市場之前沒有經過壓力傳感器標定係統篩選出合格的（de）產品或者發現（xiàn）產品中存在的問題，隻能在產品使（shǐ）用過程中（zhōng）出現（xiàn）的問題來檢測（cè）其可靠性，增加了器件的使用成本，影響了MEMS壓力（lì）傳感（gǎn）器的規模化應用。

為解決這個（gè）難題，北（běi）京恒升偉業（yè）針對MEMS壓（yā）力傳感器（qì）自動批量測（cè）試標定開展了一係（xì）列研究工作，設計出了一套MEMS壓力傳感器全自動（dòng）批量標定係統，以提高MEMS壓力傳感器（qì）測試標定的自動化程度和效率，對推（tuī）動MEMS壓力傳感器的研發和產業化有重要意義（yì）。

HSIN6800壓力傳感器標定係統包括氣源裝置，Mensor壓力控製器，標定實施裝置和數據處理裝（zhuāng）置。標定實（shí）施裝置與壓（yā）力控製器連通，用於通過不同壓力的氣（qì）體對待標定MEMS壓（yā）力傳感器施加壓力，並輸（shū）出多個壓力真實值，壓力控製裝置先接收多（duō）個外部預設（shè）壓力（lì）值指令（lìng），預先設定多（duō）個不同的壓力值。Mensor壓力（lì）控（kòng）製器再根據設定自（zì）動連續輸出不同壓力的氣體，避免人工控製，減小了操作誤差。數據處理裝置同時采（cǎi）集預設壓力值，壓力真實值和電信號（hào）值，減小了數據采（cǎi）集的時間差，保證了數據采集的同步性。