在半導（dǎo）體製造過程中，溫度是十分重要的工藝參數。例如熱電偶就常用於測量和控製退火、氧化、刻蝕等各種工藝設備（bèi）的溫度，確保工藝的安全性，對提（tí）高半導體質（zhì）量和性能有（yǒu）著重要的（de）作用。由此可見（jiàn），用於檢定熱電偶準確度的幹體爐、溫度校驗儀等計量設備在半導體行業也有著廣泛（fàn）的應用。

在計量校準方麵，幹體爐主要用於熱電偶、熱電阻、溫度傳（chuán）感器（qì）、溫（wēn）度變送器等溫度儀表的溫度測（cè）試。HSIN930係列智能幹體爐可提供穩（wěn）定而準確的溫度環境，模擬各種（zhǒng）環境條件，以便在實驗（yàn）室中測試半導體（tǐ）的（de）性（xìng）能，還可以（yǐ）用於熱處理和退火等其他半導體製（zhì）造步驟。

HSIN930智能幹體爐（lú）還可測量直流電壓、毫伏電壓、直流電流、電阻、開關通斷等信號。還可測量8種熱電偶和5種熱電阻（zǔ），提（tí）供冷端補償功能，熱電阻測量有多種線製選擇，滿足了半導體（tǐ）行業校準溫度儀表對準確度、便攜性和速度的要求。