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壓力傳(chuán)感器(qì)標定在mems產業中的應用
發布時(shí)間:2022-11-03 17:15瀏覽次數:

近年來,美國商務(wù)部出台了(le)一些列對(duì)華限製措施,其中(zhōng)就報包括禁止(zhǐ)將使用美國(guó)設備製造的某些壓力傳感器芯片銷售(shòu)給中國,為了實現MEMS壓(yā)力傳感器芯片核心技術自主可控,消除被“卡脖子”的風險,各(gè)地方政府對MEMS產業的投入逐漸加大,國內一(yī)些工業傳感器製造企業(yè)也(yě)開始擁有高性能傳感器芯片的設計、流片和封裝測試能力(lì),與(yǔ)之相關的(de),對自(zì)動化批量測試的壓力傳感器標定係統(tǒng)的需(xū)求也隨之增加。

壓力傳感器校驗台

恒升偉業自主(zhǔ)研發製造(zào)的HSIN6800壓力傳感器標定台主要包括氣源裝置,WIKA壓力控製器裝置,標定實(shí)施裝置和數據處理裝置。標定實施裝置與壓力控製裝置連通,用於通過不同壓力(lì)的氣(qì)體對待標定傳(chuán)感器施加壓(yā)力,再根據設定自動連續輸出不同壓力的氣體,避免人為誤差。數據處理裝置(zhì)同時采集預設壓力值,壓力(lì)真實(shí)值和電信號值,減小了數據采集的時間差,保證了數據采集的同步性。HSIN6800壓力校驗台可有效提高待標(biāo)定傳感(gǎn)器的標定模型的準確性。

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